第290章 高卢国际工业展览会上的尴尬(第1/3 页)
第290章 高卢国际工业展览会上的尴尬
高卢，国际工业展览会。搜索本文首发: 打开它
展厅很大，典雅豪华，就像是雄伟的宫殿一样。
在这展厅之中，一台来自东方的光刻机，吸引了所有人的目光。
“各位，这是我们东方华清大学研制的自动对准分步投影式光刻机，使用它可以实现最细0.8微米的线宽加工……”
展台前面，一名五十来岁的老干部，满脸骄傲地给一众西方人介绍。这可是国际工业的盛会，东方还是第一次参加，能拿得出手的东西可不多，但是，这光刻机绝对是其中之一！
现在，把这个展示出来，可以展示东方工业的风采，这可是个向全世界介绍东方的好机会，绝对不能有闪失！
“请问，这个自动对准是什么意思？”很快，一名西方专家就闻声而来，开口询问。
“这个是指光刻机能够自动调整硅片和掩膜版之间的对焦，这样可以保证图案能够精确复刻到硅片上。”老干部信心十足地介绍，这些都是提前背过的，难不倒他！
“请问，这是怎么自动调整的？”
“这个嘛……”老干部一时间语塞了。
这个没背过！
“它使用的是电机调整，还是液压调整？”
“对焦的原理是什么，它怎么知道已经对焦成功的？”
一问三不知！
老干部赶紧看向身后的几名一起出国的人员，他们纷纷低头，他们也不知道啊！
设备是华清大学搞的，出国名额有限，所以就没有分配给这些设备的研发人员，现在是一问三不知啊！显然，那些外国人已经怀疑了：你们该不会是吹牛吧？
“请问，这个分步投影……”
这个背过！老干部开口：“这是分布曝光的方式，每次只曝光一个小区域，然后移动硅片到下一个区域继续曝光，直至整个晶圆上的电路图案全部复刻上去，这样做的好处是可以让光刻机处理大尺寸晶圆，四英寸，六英寸，甚至八英寸的都可以……”
“那每次曝光的区域是多大？”
“曝光之后的移动，如何保证边缘部分的重合？”
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